சிறப்பு வடிவ வெளியேற்ற பூச்சு இயந்திரம்

தொழில்நுட்ப அளவுரு

தரநிலை

D (விளிம்பு விளைவுப் பகுதி)

≤2மிமீ(-5～0μm)

ஒரு (பின்பற்றும் விளிம்பு)

≤1மிமீ (சார்ந்து)கூழ்பண்புகள்)

எஃப் (இல்idth பிழை)

≤±0.5மிமீ

மற்றும் (பநீளப் பிழை

≤±0.5மிமீ

H (வெள்ளை-வெளியீட்டுப் பிழை)

≤±0.5மிமீ

I (தலை மற்றும் வால் சீரமைப்புப் பிழை)

≤±0.5மிமீ

பி (h(தலை மெலிதல்) 2~5 மிமீ

-5～0μm

C (வால் மெலிதாக்குதல்) 2~5 மிமீ

-5～0μm

ஜே (திஒரு பக்கமேற்பரப்புஅடர்த்தி) (ஆர்பகுதிகள் B, C, D-ஐ அகற்றவும்

≤±1.5%

இருபக்கமேற்பரப்புஅடர்த்திப் பிழை (B, C, D பகுதிகளை நீக்கவும்)

≤±1.2%

தொழில்நுட்ப அளவுரு

நன்மை

சுருள் மேற்பரப்பு அகலம்

450/550/750/850/1000/

டை ஹெட்

சிதனிப்பயனாக்கக்கூடிய

பூச்சுவேகம்

பூச்சு வேகம்: அதிகபட்சம்: 50 மீ/நிமிடம்; (10 மிமீ இடைவெளி)

ரோலர் ரன்அவுட்

≤1.2um (கீனின் லேசர் மீட்டர்)

முன் மற்றும் பின் பக்கங்களின் பொருந்தாமை

≤±0.5 மிமீ

பூச்சு துல்லியம்

ஒரு பக்க மேற்பரப்பு அடர்த்தி: ≤±1.5%; இரு பக்க மேற்பரப்பு அடர்த்தி: ≤±1.2

தலை மற்றும் வால் மெலிதல்

-10~0um

அவிழ்ப்பு விட்டம்

மேக்ஸ்：800 மிமீ

சுருள் உருளை விட்டம்

அதிகபட்சம்: 1200 மிமீ (நிறுத்தாமலும் வேகக் குறைப்பு இல்லாமலும் தானியங்கி டேப் இணைப்பைச் செயல்படுத்தும்)

அடுப்பு உள்ளமைவு

2/3/4/5 மீ/பிரிவு, முழு முதன்மை இயக்க அடுப்பு

வெப்பமூட்டும் முறை

மின்சார வெப்பமூட்டல்/நீராவி வெப்பமூட்டல்/வெப்ப எண்ணெய் வெப்பமூட்டல் (அகச்சிவப்பு)