לאַזער שטאַרבן-קאַטינג מאַשין
ליטיום באַטעריע פּראָצעס עקוויפּמענט (פורעם טיפּ) וואָס ניצט האַרדווער פורמען צו פֿאָרמען עלעקטראָד טאַבס, מיט מינימאַלע באַררס און קייפל פרעמדע אָביעקט קאָנטראָל מיטלען.
| פּאַראַמעטער | ספּעציפֿיקאַציע |
| עקוויפּמענט ספּעציפֿיקאַציע | ברייט פון די ראָל: 550 מם |
| אַלגעמיינע ליניע דימענסיעס (מם) | 9500 (L) * 2300 (W) * 2700 (H) |
| אַפּערייטינג ליניע גיכקייט | 60-120 מעטער/מינוט |
| לאַזער קאַטינג בוררס | ≤10μm |
| עלעקטראָד בויגן סליטטינג בוררס | ≤7μm |
| עלעקטראָד בויגן ברייט ספּעסיפיקאַציעס | 150-500 מ״מ |
| זעמל דיאַמעטער ספּעסיפיקאַציעס | ≤1000 מם |
| עלעקטראָד בויגן סליטטינג טאָלעראַנץ | ±0.2 מ״מ |
| עלעקטראָד טאַב קאַטינג פּאָזיציע אַקיעראַסי | ±0.2 מ״מ |
| עלעקטראָד טאַב קאַטינג פאָרעם אַקיעראַסי | ±0.2 מ״מ |
| אַליינמאַנט קאָנטראָל אַקיעראַסי | ±0.1 מ״מ |
| מארק לאָך פּאָזיציע אַקיעראַסי | ±0.3 מ״מ |
| עלעקטראָד בויגן גרעב ספּעסיפיקאַציעס | 60-250μm |
| שטער גרעב ספּעסיפיקאַציעס | 4.5-20μm |
| שטויב באַזייַטיקונג עפעקטיווקייט | קלאַס 10,000 ריינצימער |

