ការផលិតអេឡិចត្រូត
ម៉ាស៊ីនកាត់ឡាស៊ែរ
ឧបករណ៍ដំណើរការថ្មលីចូម (ប្រភេទផ្សិត) ដែលប្រើផ្សិតផ្នែករឹងដើម្បីបង្កើតជាផ្ទាំងអេឡិចត្រូត ដែលមានស្នាមប្រេះតិចតួចបំផុត និងវិធានការគ្រប់គ្រងវត្ថុបរទេសច្រើន។
| ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | លក្ខណៈបច្ចេកទេស |
| លក្ខណៈបច្ចេកទេសឧបករណ៍ | ទទឹងរមូរ៖ ៥៥០មម |
| វិមាត្រខ្សែសរុប (មម) | ៩៥០០ (បណ្តោយ) * ២៣០០ (ទទឹង) * ២៧០០ (កម្ពស់) |
| ល្បឿនខ្សែប្រតិបត្តិការ | ៦០-១២០ ម៉ែត្រ/នាទី |
| កាំបិតកាត់ឡាស៊ែរ | ≤10μm |
| ប៊ូឡុងកាត់សន្លឹកអេឡិចត្រូត | ≤7μm |
| លក្ខណៈបច្ចេកទេសទទឹងសន្លឹកអេឡិចត្រូត | ១៥០-៥០០មម |
| លក្ខណៈបច្ចេកទេសអង្កត់ផ្ចិតរមូរ | ≤1000មម |
| ភាពអត់ធ្មត់នៃការកាត់សន្លឹកអេឡិចត្រូត | ±0.2មម |
| ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងកាត់ផ្ទាំងអេឡិចត្រូត | ±0.2មម |
| ភាពត្រឹមត្រូវនៃរូបរាងកាត់បន្ទះអេឡិចត្រូត | ±0.2មម |
| ភាពត្រឹមត្រូវនៃការគ្រប់គ្រងការតម្រឹម | ±0.1មម |
| ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងរន្ធសម្គាល់ | ±0.3មម |
| លក្ខណៈបច្ចេកទេសកម្រាស់សន្លឹកអេឡិចត្រូត | ៦០-២៥០ មីក្រូម៉ែត្រ |
| លក្ខណៈបច្ចេកទេសកម្រាស់សន្លឹក | ៤.៥-២០ មីក្រូម៉ែត្រ |
| ប្រសិទ្ធភាពនៃការដកធូលីចេញ | បន្ទប់សម្អាតថ្នាក់ទី 10,000 |