வாயு நீக்கும் மற்றும் மடிக்கும் இயந்திரம்

அளவுரு

மதிப்பு

குறிப்பு

வெற்றிட நிலை

-95 kPa க்கு சமமாகவோ அல்லது குறைவாகவோ

எஞ்சிய வாயு ≤0.1%

சுழற்சி நேரம்

5-15 வி/செல்

மின்பகுளி வகைகளுக்கு ஏற்ப சரிசெய்யக்கூடியது

விளிம்பு துல்லியம்

±0.5 மிமீ

லேசர் வழிகாட்டுதல் சீரமைப்பு

மடிப்பு கோணம்

90°/180°

நிரல்படுத்தக்கூடிய விருப்பங்கள்

சீலிங் அழுத்தம்

0.2-0.5 MPa

செர்வோ-கட்டுப்படுத்தப்பட்ட

செல் தடிமன் வரம்பு

3-12 மிமீ

பல்வேறு வடிவமைப்புகளுடன் இணக்கமானது

கசிவு சோதனை தரநிலை

≤0.01 ppm (He)

வாயு நீக்கத்திற்குப் பிந்தைய சரிபார்ப்பு

சீல் வலிமை

≥40 N/15mm

ASTM F88 இணக்கமானது

நிர்வாக நிலை

செயற்கை நுண்ணறிவு காட்சி ஆய்வு

குறைபாடு கண்டறிதல்: 0.1 மிமீ²