გრავიურის ელექტროდის პრაიმერის საფარის მანქანა

ტექნიკური პარამეტრი

უპირატესობა

ძირითადად გამოიყენება ლითიუმის ბატარეის სუბსტრატის პრაიმერის საფარისთვის

მექანიკური სიჩქარე 250 მ/წთ

გრავიურის გადაცემის საფარის მეთოდი

საფარის სიჩქარე 150-200 მ/წთ

სინქრონიზებული ორმხრივი საფარი, ავტომატური გადაბეჭდვა ვერტიკალური და ჰორიზონტალური მიმართულებით

სუბსტრატის სიგანე 500-1600 მმ

სრულად ავტომატური გაშრობის სისტემა ღუმელში, დახურული ციკლის რეჟიმი, მუდმივი ტემპერატურის კონტროლი

საფარის სიგანე მაქს. 1600 მმ

გრძივი ბეჭდვის გასწორების შეცდომა 0.2 მმ

დახვევის/გახსნის დიამეტრი მაქს. 1100 მმ

ჰორიზონტალური ბეჭდვის გასწორების შეცდომა 0.5 მმ

მშრალი საფარის სისქე 1-10 მკმ

დაფარული სუბსტრატი სპილენძის ფოლგა 4.5~14um ალუმინის ფოლგა 9~16um

დახვევის კიდის სისუფთავის ტოლერანტობა ± 0.5 მმ